SMIC Mulai Uji Coba Scanner DUV Imersi Buatan Lokal Pertama di Tiongkok
Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), produsen chip terbesar di Tiongkok, mulai melakukan uji coba immersion deep-ultraviolet (DUV) lithography scanner buatan Shanghai Yuliangsheng Technology. Langkah ini menjadi bagian penting dari upaya membangun industri peralatan fabrikasi wafer lokal sekaligus mengurangi ketergantungan pada pemasok Barat.
Proyek yang diberi nama sandi “Mount Everest” ini didukung oleh sejumlah investor dan mitra, termasuk SiCarrier. Perangkat tersebut sebagian besar dirakit menggunakan komponen dalam negeri, meski masih ada beberapa bagian yang berasal dari luar negeri. Saat ini SMIC diperkirakan masih berada pada tahap awal pengujian, yakni “first light” atau pencetakan pola awal, bukan penggunaan penuh dalam alur produksi massal.
Kemampuan dan Tantangan Teknologi
Scanner DUV buatan Yuliangsheng ditujukan untuk proses kelas 28 nm, dengan kemampuan yang setara dengan desain lama Twinscan sekitar tahun 2008. Secara teori, perangkat ini bisa didorong untuk memproduksi chip 7 nm hingga 5 nm melalui metode multi-patterning. Namun, jalur tersebut meningkatkan kompleksitas, menurunkan hasil produksi (yield), serta menuntut kontrol overlay dan stabilitas proses yang jauh lebih ketat.
Saat ini, node 7 nm dan 5 nm milik SMIC diproduksi dengan metode quad-patterning, yang mengharuskan scanner melakukan hingga empat tembakan laser untuk mencetak pola ke silikon agar mencapai node modern. Meski begitu, SMIC masih akan bergantung pada peralatan ASML untuk produk paling canggihnya, sembari menunggu kematangan peralatan dalam negeri.
Prospek Integrasi ke Produksi
SMIC berencana mulai mengintegrasikan mesin DUV lokal yang lolos kualifikasi ke lini produksi pada 2027. Namun, meskipun uji coba saat ini berhasil, menutup kesenjangan teknologi dengan vendor litografi global serta mencapai yield kompetitif di bawah 10 nm diperkirakan membutuhkan waktu beberapa tahun lagi, mencakup desain ulang, kualifikasi, hingga proses skala besar.
Langkah SMIC ini juga mendapat urgensi strategis setelah Departemen Perdagangan AS memasukkan Yuliangsheng ke dalam entity list pada akhir 2024, yang semakin mendorong Tiongkok untuk melokalisasi rantai pasok litografi semikonduktor.
Sumber: Financial Times
