Kioxia Akan Uji Teknologi Inspeksi e-Beam Berbasis GaN Hasil Kolaborasi Photo electron Soul dan Universitas Nagoya
Perusahaan rintisan Jepang, Photo electron Soul Inc. (PeS), bersama dengan Laboratorium Amano-Honda dari Universitas Nagoya, mengumumkan bahwa teknologi inspeksi dan metrologi e-Beam berbasis GaN (Gallium Nitride) yang mereka kembangkan akan dievaluasi oleh Kioxia Iwate Corporation pada akhir September mendatang.
Uji coba ini menjadi tonggak penting dalam adopsi teknologi mutakhir untuk peningkatan yield dan akurasi deteksi cacat pada proses manufaktur semikonduktor generasi lanjut—khususnya pada produksi memori flash 3D NAND.
Tantangan Inspeksi di Era 3D NAND
Teknologi 3D flash memory kini mengandalkan struktur sel memori bertumpuk, dengan lapisan yang semakin banyak dan kerapatan integrasi yang tinggi. Tantangan besar muncul dalam mendeteksi cacat dan menganalisis akar masalah secara presisi, terutama di area struktur high-aspect-ratio yang sulit diakses oleh alat inspeksi konvensional.
Kioxia, salah satu pelopor dalam pengembangan memori NAND, kini berfokus pada penerapan teknik inspeksi dan metrologi baru untuk mempertahankan keunggulan teknologi mereka di tengah kompetisi global.
Inovasi: DSeB dan YCeB Berbasis Photocathode GaN
Teknologi yang akan diuji mencakup dua fitur utama:
- DSeB (Digital Selective e-Beaming)
- YCeB (Yield Controlled e-Beaming)
Keduanya memungkinkan:
- Inspeksi listrik non-kontak
- Deteksi cacat tingkat dalam
- Pengukuran profil pada struktur 3D kompleks
Dengan kontrol intensitas sinar elektron secara real-time dan penembakan e-Beam selektif, teknologi ini diklaim dapat menghindari salah fokus sinar yang kerap terjadi pada metode konvensional. Teknologi ini hanya dapat dicapai melalui photocathode e-Beam berbasis GaN, yang belum dikomersialisasi oleh pemasok alat inspeksi lain di dunia.
Potensi Transformasional dalam Manufaktur NAND
Menurut Takayuki Suzuki, CEO PeS:
“Evaluasi oleh Kioxia adalah kesempatan besar untuk membuktikan keunggulan teknologi kami. Ini siap digunakan dalam lingkungan produksi nyata dan kami yakin akan menjadi teknologi inti yang memperkuat kapabilitas Kioxia untuk mengungguli produsen NAND lain di Korea dan AS.”
Dukungan Strategis untuk Industri Semikonduktor Jepang
Dengan latar belakang akademik kuat dari Universitas Nagoya dan kolaborasi industri bersama Kioxia, proyek ini juga mencerminkan dorongan besar dari Jepang untuk mempertahankan daya saing dalam industri semikonduktor global, terutama di bidang pengujian dan kontrol kualitas yang semakin kompleks.
Sumber: Photo electron Soul Inc.
